Das Team von Micron ist endlich bereit, die EUV-Lithografie einzusetzen, die für die DRAM-Herstellung mehrere Vorteile bietet. Die EUV-Lithografie (Extreme Ultra-Violet) wird von vielen Konkurrenten des Unternehmens bereits seit einiger Zeit eingesetzt, man denke nur an die aktuellen Produktionstechnologien von Samsung oder SK Hynix, aber Micron hatte es nicht eilig, diese Innovation einzusetzen, sondern versuchte stattdessen, das Beste aus der klassischen DUV-Multi-Patterning-Technologie zu machen. Die EUV-Lithografie soll ebenfalls im nächsten Jahr in die Produktion einfließen, und die 1-Gamma-Produktionstechnologie soll, wenn alles nach Plan läuft, im Jahr 2025 in die Massenproduktion gehen.

Derzeit sind die DRAM-Chips des Herstellers DUV-basiert, und das Hauptanliegen bei den 1α- und 1ß-Knoten war es, die darauf basierenden Produkte sowohl in Bezug auf die Kosten als auch auf die Leistung wettbewerbsfähig zu machen, was auch erreicht wurde. In der Zwischenzeit haben SK Hynix und Samsung bereits die teuren EUV-Maschinen eingesetzt, die jeweils rund 200 Mio. USD kosten, um im Gegenzug eine kostengünstigere Produktion zu ermöglichen.

Die EUV-Fertigungstechnologie von Micron befindet sich derzeit in der Pilotproduktion, die Tests sind in vollem Gange, die Feinabstimmung ist noch im Gange, aber es sieht so aus, als wäre das Unternehmen auf dem besten Weg, seinen ersten EUV-Knoten, den 1 γ-Knoten, im Jahr 2025 zu liefern. Die Innovation ist von Bedeutung, da sie dem Unternehmen helfen wird, seine Wettbewerbsfähigkeit zu steigern, indem es billigere und energieeffizientere Speicherchips herstellt, da es sich um die kleinste DRAM-Zelle der Branche handeln wird. Es bleibt abzuwarten, wie genau die neue DRAM-Zelle funktionieren wird, aber das wird sich mit der Zeit zeigen. Der 1 γ-Knoten selbst wurde in einem Entwicklungszentrum in Hiroshima, Japan, geboren.

Das Unternehmen testet seit einiger Zeit seine ASML NXE EUV-Maschinen mit der EUV-Lithografietechnik und hat die Prozesse so weit optimiert, dass es keine nennenswerten Unterschiede in der Ausbeute und Qualität zwischen den EUV- und Nicht-EUV-Versionen des 1α- und 1ß-Knotens gibt. Laut Sanjay Mehrotra von Micron ist die neue Produktionstechnologie auf einem guten Weg und könnte, wie ursprünglich geplant, innerhalb des nächsten Jahres in der Massenproduktion eingesetzt werden.